Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления
Барвинок, Виталий Алексеевич, Богданович, Валерий ИосифовичКатегории:
Год:
1999
Издательство:
Машиностроение
Язык:
russian
Страницы:
309
ISBN 10:
5217029579
ISBN 13:
9785217029570
Файл:
DJVU, 9.02 MB
IPFS:
,
russian, 1999