Моделирование технологии формирования элементов интегральных схем
Зятьков И.И., Юрченко Е.П.
Учеб. пособие /ГЭТУ. - С.-Пб., 1995. - 48 с.Изложены конструктивно-технологические особенности элементов в МДП ИМС и в ИМС на биполярных транзисторах. Рассмотрены особенности конструкции и технологии базовых инверторов МДП ИМС.
Приведены примеры расчета технологических процессов для обеспечения заданных конструктивно-технологических параметров элементов ИМС. Проведен учет двухмерных эффектов при введении примесей через окно в маске.
Предназначено для студентов специальностей 200100 и 200200.
Приведены примеры расчета технологических процессов для обеспечения заданных конструктивно-технологических параметров элементов ИМС. Проведен учет двухмерных эффектов при введении примесей через окно в маске.
Предназначено для студентов специальностей 200100 и 200200.
Язык:
russian
Файл:
DJVU, 630 KB
IPFS:
,
russian0
Litres
Хотите добавить книжный магазин? Свяжитесь с нами по support@z-lib.do
Конвертируйте файлы
Больше результатов поиска
Другие преимущества 
